封面文章：王思远，刘元坤，于馨. 基于光流像素匹配的扫描显微相位测量轮廓术[J]. 光电工程，2024，51(11): 240194

在扫描相位测量轮廓术中，需要先将不同位置的物体匹配到同一点，再根据相移算法提取相位信息，而像素匹配精度与相移算法均会影响测量精度。为此，采用显微系统，根据其远心光路特性实现物体移动量与像素移动量的等量转换；通过交替采集白场图像和条纹图像，由白场图像通过光流法实现精确的像素匹配，再根据物体匀速运动特点实现条纹图像的精确像素匹配；根据初始条纹周期选择基本符合满周期的N幅条纹图，由任意步数相移方法计算出截断相位分布，再通过概率密度函数搜索最佳条纹周期，进而得到准确的相位信息，完成物体形貌测量。实验表明，所提方法有效提高了测量精度，相移算法也适用于任意N (N≥3)幅图，在模拟工业流水线场景中物体的三维测量时，RMSE(均方根误差)可达0.008 mm左右。