2023年 第50卷 第6期

封面文章:肖演,杨斯铄,程凌云,等. 非晶氧化镓基日盲紫外探测器的研究进展 [J]. 光电工程,2023,50(6): 230005

日盲紫外探测在空间安全通信、臭氧空洞监测、导弹来袭告警等军事与民用领域具有广阔的应用前景。氧化镓 (Ga2O3) 具有超宽的带隙 (4.4~5.3 eV),几乎覆盖整个日盲波段,被认为是构筑日盲紫外探测器的理想材料之一。相比于目前盲紫外探测器的Ga2O3单晶及外延薄膜,非晶氧化镓(a-Ga2O3)薄膜拥有着较低的制备温度,且因为不需要考虑晶格失配的问题,理论上具有更加出色的均匀性。

电子科技大学钱凌轩教授研究团队对 a-Ga2O3基日盲紫外探测器的研究进展与现状进行介绍。首先介绍了 a-Ga2O3的基本特性以及几种常见的制备方法,进而介绍了各种适用的器件类型、结构及性能。日盲紫外探测器主要分为 MSM 型、结型、TFT 型和阵列型等几大类,通过器件结构优化,进一步提升探测性能。

非晶氧化镓日盲紫外探测自问世以来,已经取得了长足的进步,并展现出巨大的发展潜力。未来在新的薄膜制备工艺、掺杂/合金化调控、衬底选择值得研究。


2024年 第51卷 第10期

ISSN (Print) 1003-501X
ISSN (Online) 2097-4019
CN 51-1346/O4
主编:
罗先刚 院士
执行主编:
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